반도체 클린룸 ULPA 필터 납품
반도체삼성전자

반도체 클린룸 ULPA 필터 납품

삼성전자 평택 P3 반도체 공장의 Class 1 클린룸에 ULPA 필터 시스템을 납품하였습니다. 초미세 입자(0.1 μm 이상) 포집 효율 99.9999% 이상을 달성하여 EUV 노광 공정 환경을 안정적으로 유지합니다.

납품 연도

2024년

납품 위치

경기도 평택시

납품 수량

2,500+ 유닛

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Project Details

프로젝트 상세 정보

적용 필터 정보

필터 종류ULPA Filter (U16)
납품 수량2,500+ 유닛
납품 위치경기도 평택시
납품 연도2024년
업종 분류반도체

프로젝트 주요 특징

  • ISO 등급 U16 ULPA 필터 — 0.12 μm 입자 99.9999% 포집

  • EUV 노광 공정 대응 저진동·저발진 설계

  • 차압 실시간 모니터링 IoT 연동 시스템

  • 내화학성 알루미늄 세퍼레이터 프레임 적용

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