반도체SK하이닉스
반도체 공장 케미칼 필터 납품
SK하이닉스 이천 M16 캠퍼스의 반도체 제조 공정에 분자오염(AMC) 제거용 케미칼 필터를 납품하였습니다. 식각·세정 공정에서 발생하는 산성·염기성 오염물질을 99% 이상 제거하여 수율을 개선했습니다.
납품 연도
2024년
납품 위치
경기도 이천시
납품 수량
1,800+ 유닛
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Project Details
프로젝트 상세 정보
적용 필터 정보
필터 종류Chemical Filter (AMC)
납품 수량1,800+ 유닛
납품 위치경기도 이천시
납품 연도2024년
업종 분류반도체
프로젝트 주요 특징
활성탄·이온교환 복합 미디어로 산성·염기성·유기 AMC 동시 제거
1 μg/m³ 이하 수준의 분자오염 컨트롤
교체 주기 모니터링 내장 센서 탑재
SEMI F21 / ISO 14644-8 기준 준수
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